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高真空等离子体增强化学气相沉积 (CCP型) 系统-VTC-PECVD
暂无评价
重要属性
行业属性
保修期
one year
其他属性
原产地
Henan, China
分类
实验室加热设备
支持定做
OEM
品牌
MGSI
型号
VTC-PECVD
重量
200kg
工作电压范围(V)
Single-phase 208 - 240 VAC 50 / 60 Hz
Product name
Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition system
RF Source Power
300 W, 13.56 MHz
Vacuum Chamber material
Made of 304 stainless steel
Dimension
Dia 300 mm * 300 m H
Ultimate vacuum
6E-7 torr
Turbo Pump
700 L/s Pfeiffer turbo pump
Backing Pump
240 L/min (4L/s) rotary vane pump
Sample holder size
100 mm Dia. for. 4" wafer max
Flow rate
16 L/min
Compliance
CE approval
交货时间
| 数量 (sets) | 1 - 1 | > 1 |
| 美国东部时间（天） | 60 | 待定 |
