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Hecho en China PEALD de gama alta de 12 pulgadas compatible con obleas de silicio más pequeñas

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Atributos clave

Otros atributos

Lugar del origen
China
Condición
Nuevo
Peso (KG)
900
Video saliente de inspección
Siempre
: Informe de prueba
Siempre
Marketing tipo
2024
Garantía de los componentes principales.
1 año
Los componentes principales.
PLC, Motor, Rodamiento, Caja de cambios, Motor, Recipiente de presión, Equipo, De la bomba
Garantía
1 año
Industrias aplicables
Planta de fabricación, Industria fotovoltaica, Industria del semiconductor, MEMS, OLED, Microelectrónica, Energía y Medio Ambiente
Exposición de ubicación
Ninguno
Nombre del producto
Sistema PEALD
Palabra clave
SISTEMA PEALD de baja temperatura
Aplicación
OLED/QD-OLED/MMIC/miniLED/microLED
Tamaño
4/6/8/12 pulgadas
Temperatura de calentamiento del sustrato
Temperatura ambiente ~ 400 ℃
Sistema de Transporte de precursores
2-6-Way (opcional)
Temperatura de línea precursora
Temperatura ambiente ~ 200 ℃
Fuente de la botella de calefacción
Temperatura ambiente ~ 200 ℃
Sistema de suministro de aire
N2 o Ar
Fuente de plasma
0-300W

Plazo de entrega

Cantidad (piezas)1 - 1 > 1
Hora del Est.(días)50Para negociar

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1 - 1 piezas
EUR 56,485.26
>= 2 piezas
EUR 49,895.32

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